輪廓測量儀,光學(xué)3D表面輪廓儀，由深圳市中圖儀器科技有限公司為你提供。深圳市中圖儀器科技有限公司是高新技術(shù)企業(yè)和軟件企業(yè)，致力于精密計量、檢測儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。公司堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，擁有一支集光、機、電、信息技術(shù)于一體的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊，歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐，專業(yè)覆蓋面廣，專項技術(shù)能力強，具有多項技術(shù)專利和軟件知識產(chǎn)權(quán)，潛心進(jìn)行計量、檢測技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展。公司擁有2千平方米的現(xiàn)代化科研辦公場地及3千平方米的精密加工、裝配基地，配備了先進(jìn)的科研設(shè)施和精密加工設(shè)備，按照ISO9001標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行生產(chǎn)，為客戶提供質(zhì)量一流的產(chǎn)品。公司銷售和服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍及三十多個省

SuperViewW1輪廓測量儀,光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等域中。

產(chǎn)品功能

1）輪廓測量儀,光學(xué)3D表面輪廓儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應(yīng)用域

可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

晶圓IC減薄后的粗糙度檢測

SuperViewW1輪廓測量儀,光學(xué)3D表面輪廓儀采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高；隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復(fù)性。

儀器特點

1、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

2、雙重防撞保護(hù)措施

除初的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險。

3、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。