MicroLine-300是一款桌上型半自動CD測量系統(tǒng)，由東莞市天測光學(xué)設(shè)備有限公司蘇州分公司為你提供。東莞市天測光學(xué)設(shè)備有限公司（TianCe Optical Equipment Co.,LTD.）是一家專業(yè)從事測量儀器銷售和服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。公司坐落在中國制造業(yè)名城廣東省東莞市.公司本著“誠信、專業(yè)、務(wù)實、創(chuàng)新”的經(jīng)營理念，堅持“以質(zhì)量求生存、以信譽求發(fā)展”為企業(yè)宗旨,為客戶提供高質(zhì)低價的產(chǎn)品和服務(wù),獲得珠三角客戶廣泛好評。 　公司專業(yè)從事美國QVI產(chǎn)品、法國Keron 關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo)測量儀、等國際品測量儀器的銷售、安裝、維修、校正、保養(yǎng)、升等服務(wù)。公司擁有完善的樣品測試中心和方案評估實驗室,可為客戶提

主要技術(shù)參數(shù)：

 

◆    測量范圍(XYZ)：標(biāo)準(zhǔn)：200×200×25mm；可選：300x300x25

◆    視場內(nèi)測量精度：10nm(100X 鏡頭)；Z軸ju jiao范圍：25 mm

◆    視場內(nèi)測量范圍：0.5um~400um；

◆    視場內(nèi)測量重復(fù)性(100x 物鏡)：  晶圓上<0.010um(1δ)； 

                                                   掩模板上0.005um(1δ)；   

◆    承重：2kg

◆    標(biāo)配鏡頭10x，可選鏡頭：5X, 20X, 50X, 100X

 

 

MicroLineTM 300是一款高性能測量晶圓、光罩、MEMS和其他微加工設(shè)備等關(guān)鍵尺寸的自動化測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)配備了高質(zhì)量光學(xué)顯微鏡和精密移動平臺，可對200mm的晶圓上0.5μm到400μm的特征尺寸進(jìn)行全自動的精密視場測量。

 

n  200 x200mm精密X-Y平臺

n  基于視覺的自動ju jiao獲得某佳影像質(zhì)量

n  自動照明可編程光強

n  用于測量透明層、不規(guī)則邊緣的線、厚膜等的強勁性能

n  完全可編程的序列，包括自動ju jiao和關(guān)鍵尺寸測量

n  電動的6目物鏡轉(zhuǎn)換器，軟件控制

n  可選的透射照明

技術(shù)規(guī)格：

- 測量行程: 200 x 200 x25mm(XYZ)

- 平臺運行: 交叉滾軸手動同軸定位和快速釋放

- 視場內(nèi)的測量精度: 0.010μm (用100x物鏡)

- 特征尺寸: 視場內(nèi)0.5μm - 400μm

- FOV測量重復(fù)性: <0.010μm on wafers (用100x物鏡)

<0.005μm on photomasks (用100x物鏡)

- 照明: 石英鹵素?zé)? 反射光

      自動照明

- 低噪音CCD VGA格式攝像頭

- 圖像處理60幀每秒

MicroLine 300的典型應(yīng)用包括：

l  晶圓

l  光罩

l  MEMS

l  微型組件

測量類型:

n  關(guān)鍵尺寸:

線寬  Linewidth

節(jié)距  Pitch

間隙  Spacing

n  Overlay

            Multi-layer registration

Box in box

Circle

Edge roughness

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